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潔凈防爆橋式起重機
該起重機是滿足新生產(chǎn)工藝的具備自動、潔凈、防爆功能的起重機。使用環(huán)境為半導(dǎo)體材料車間，無塵化設(shè)計，空氣清潔度等級為4級(國標(biāo)7級)（即每立方米內(nèi)0.1μm大小的顆粒物不大于10000個）。同時該車間內(nèi)存在易燃易爆氣體，起重機防爆等級dIICT4。該起重機采用中控室計算機自動控制，可將還原爐和硅棒工具從還原爐平臺、清洗平臺、中轉(zhuǎn)平臺、拆棒工具等位置之間根據(jù)設(shè)定工作路線自動運行。